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申请/专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种冷凝器板，包括冷却板、冷盘、进水管和出水管，所述进水管表面一侧的上下均连通有第一水管，并且出水管表面一侧的上下均连通有第二水管，所述冷却板和冷盘之间设置有螺栓，本发明涉及冷凝器技术领域。该冷凝器板，最大限度地提高冷却效率，PCW路径直接在工艺腔中实现，此外，为了确保冷却效率和均匀性，压缩干燥空气可以全面跨腔均匀注入，针对长时间使用时，由于工艺腔PCW路径上产生的污染氧化导致PCW流量减少而降低冷却效率的对策，上、下板之间的密封采用了O‑Ring，这种密封式在拆卸‑清洗‑重新组装等维护方面也具有很大的优势，确保了大面积工艺腔的热均匀性，PCW路径和路径之间设计成0.5mm至1.0mm之间，形成PCW相互自然交流。
主权项：1.一种冷凝器板，包括冷却板1、冷盘2、进水管3和出水管4，其特征在于：所述进水管3表面一侧的上下均连通有第一水管5，并且出水管4表面一侧的上下均连通有第二水管6，所述冷却板1和冷盘2之间设置有螺栓7，并且螺栓7的内部设置有通孔8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 扬州韩思半导体科技有限公司 一种冷凝器板
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