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申请/专利权人：深圳市邦正精密机械股份有限公司
摘要：本发明涉及轴运动线性测量领域，尤其涉及一种基于激光干涉仪的轴运动线性测量数据处理方法，包括：S1、基于激光干涉仪采集轴运动实时多向数据；S2、根据所述轴运动实时多向数据进行分类补偿处理得到轴运动规范运动轨迹；S3、利用所述轴运动实时多向数据与轴运动规范运动轨迹得到轴运动线性测量数据处理结果，通过激光干涉仪采集轴运动轨迹数据，并利用设备自动运行配合完成数据采集并对采集的实时数据进行再次分类筛选，在进行数据轨迹补偿后，确保轴运动精度达到预定要求。
主权项：1.一种基于激光干涉仪的轴运动线性测量数据处理方法，其特征在于，包括：S1、基于激光干涉仪采集轴运动实时多向数据；S2、根据所述轴运动实时多向数据进行分类补偿处理得到轴运动规范运动轨迹；S3、利用所述轴运动实时多向数据与轴运动规范运动轨迹得到轴运动线性测量数据处理结果。
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百度查询： 深圳市邦正精密机械股份有限公司 一种基于激光干涉仪的轴运动线性测量数据处理方法
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