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申请/专利权人:西南应用磁学研究所(中国电子科技集团公司第九研究所)
摘要:本发明公开了一种波导微波探针,属于芯片测试设备技术领域,包括探针针尖(1)、探针支架腔体(2)、探针上部左腔体(3)和探针上部右腔体(4),其中,所述探针支架腔体(2)设置有波导通道以及用于所述探针针尖(1)放置的位置,所述探针针尖(1)设置于探针支架腔体(2)前端,所述探针上部左腔体(3)与探针上部右腔体(4)左右相接构成探针主体,在所述探针主体的末端设置用于与波导接口连接的法兰;本发明能够实现超过110GHz的芯片在片测量,并且结构简单,容易实现。
主权项:1.一种波导微波探针,其特征在于,包括探针针尖(1)、探针支架腔体(2)、探针上部左腔体(3)和探针上部右腔体(4),其中,所述探针支架腔体(2)设置有波导通道以及用于所述探针针尖(1)放置的位置,所述探针针尖(1)设置于探针支架腔体(2)前端,所述探针上部左腔体(3)与探针上部右腔体(4)左右相接构成探针主体,在所述探针主体的末端设置有用于与波导接口连接的法兰。
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