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申请/专利权人：成都博纳神梭科技发展有限公司

摘要：本发明涉及加速度传感器技术领域，公开一种双轴解耦谐振式加速度传感器，包括由外至内依次设置的：第一加速度检测组件，包括一个第一检测框、两个第一力放大组件以及两个第一谐振梁，第一力放大组件能够将第一作用力放大至第二作用力；解耦组件，包括解耦框；第二加速度检测组件，包括一个第二检测框、两个第二力放大组件以及两个第二谐振梁，第二力放大组件能够将第三作用力放大至第四作用力。本发明公开的双轴解耦谐振式加速度传感器可以同时测量两个垂直方向的加速度，并且有效消除了在测量时可能出现的相互干扰问题，增加了传感器的测量精度，同时增强了传感器对于微弱加速度的响应能力，提高了传感器的灵敏度，降低了加速度计的噪声。

主权项：1.一种双轴解耦谐振式加速度传感器，其特征在于，包括由外至内依次设置的：第一加速度检测组件，包括一个第一检测框、两个第一力放大组件以及两个第一谐振梁，两个所述第一力放大组件沿第一方向设置在所述第一检测框的两侧，每个所述第一力放大组件均与一个所述第一谐振梁对应且均与所述第一检测框相连，所述第一检测框在第一加速度下能够向每个所述第一力放大组件传递第一作用力，所述第一加速度的方向为第一方向，所述第一力放大组件能够将所述第一作用力放大至第二作用力，所述第一力放大组件还与所述第一谐振梁相连且将所述第二作用力传递至所述第一谐振梁，以改变所述第一谐振梁的第一谐振频率，两个所述第一谐振梁的所述第一谐振频率的差值为第一频率差，根据所述第一频率差能够得到所述第一加速度；解耦组件，所述解耦组件包括解耦框，所述解耦框的外边缘与所述第一检测框沿第一方向弹性连接；第二加速度检测组件，包括一个第二检测框、两个第二力放大组件以及两个第二谐振梁，所述第二检测框与所述解耦框的内边缘沿第二方向弹性连接，所述第二方向与所述第一方向垂直，两个所述第二力放大组件沿所述第二方向设置在所述第二检测框的两侧，每个所述第二力放大组件均与一个所述第二谐振梁对应且均与所述第二检测框相连，所述第二检测框在第二加速度下能够向每个所述第二力放大组件传递第三作用力，所述第二加速度的方向为所述第二方向，每个所述第二力放大组件能够将所述第三作用力放大至第四作用力，所述第二力放大组件还与所述第二谐振梁相连且将所述第四作用力传递至所述第二谐振梁，以改变所述第二谐振梁的第二谐振频率，两个所述第二谐振梁的所述第二谐振频率的差值为第二频率差，根据所述第二频率差能够得到所述第二加速度。

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