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申请/专利权人：南通宏德储能科技有限公司;杭州宏德储能科技有限公司
摘要：本实用新型属于加热装置技术领域，公开了一种储能式晶圆清洗的高纯水快速加热装置，包括：高纯水存储槽，所述高纯水存储槽用来存储RO水；换热器，所述换热器通过第一连接管路与高纯水存储槽连接；若干加热槽，若干所述加热槽通过第二连接管路安装在所述换热器上，所述第二连接管路与所述第一连接管路连通，所述加热槽底部设在有快速加热组件。
主权项：1.一种储能式晶圆清洗的高纯水快速加热装置，其特征在于，包括：高纯水存储槽1，所述高纯水存储槽1用来存储RO水；换热器3，所述换热器3通过第一连接管路2与高纯水存储槽1连接；若干加热槽6，若干所述加热槽6通过第二连接管路5安装在所述换热器3上，所述第二连接管路5与所述第一连接管路2连通，所述加热槽6底部设在有快速加热组件61。
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