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一种晶圆CP多颗并行的测试装置 

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申请/专利权人:东莞市立芯泰半导体有限公司

摘要:本实用新型涉及晶元测试技术领域,且公开了一种晶圆CP多颗并行的测试装置,包括装置本体,所述装置本体包括工作台、安装架和安装架内表面顶端的检测探头,所述安装架的内壁底端设有放置机构,所述放置机构包括安装座,所述安装座固定安装于安装架的内壁底端,所述安装座的前侧固定安装有电动伸缩杆。本实用新型通过设有放置机构,采用这种设计带来了当晶元检测完成后,通过电动伸缩杆带动放置架做向外的运动,当放置架运动至一定位置以后,通过第二三角板对第一三角板的顶升,可带动放置台在放置槽内部向上运动至凸起状,此时可简单方便的对晶元进行拿取,采用这种设计,简化了拿取放置晶元的流程,提高取料效率。

主权项:1.一种晶圆CP多颗并行的测试装置,包括装置本体100,所述装置本体100包括工作台110、安装架113和安装架113内表面顶端的检测探头,其特征在于:所述安装架113的内壁底端设有放置机构200,所述放置机构200包括安装座210,所述安装座210固定安装于安装架113的内壁底端,所述安装座210的前侧固定安装有电动伸缩杆211,所述电动伸缩杆211的伸缩端固定安装有放置架212,所述放置架212的顶端等距开设有多个放置槽213,所述放置架212的前侧等距开设有与放置槽213相连通的连通槽221,所述放置槽213的内壁底端皆放置有放置台214,所述放置台214的底端皆固定安装有第一三角板215,所述第一三角板215位于连通槽221内部,所述安装架113的内壁顶端固定安装有与第一三角板215适配的第二三角板216。

全文数据:

权利要求:

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