龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：艾斯尔光电(南通)有限公司
摘要：本实用新型提供一种LED光刻掩膜版，涉及掩膜版技术领域，安装孔的直径小于安装槽的直径，安装孔的内壁上开设有内螺纹，解决现有的在当掩膜版的表面存在着细小的颗粒灰尘时，会使得图形层在放置到掩膜版上时存在着翘起等现象，而在当图形层出现翘起时则会导致其内部的透光角度产生变化，影响正常的光刻作业的问题，根据实际需要来选择风机的抽风以及出风来对于板体等装置整体进行清洁，并可以通过风机的抽风来实现产生真空对于图形板进行吸附限位，该设计可以显著的提高对于图形板的安装效率，且可以避免因板体的表面存在着灰尘而导致损坏图形板的问题出现。
主权项：1.一种LED光刻掩膜版，包括板体1，其特征在于，所述板体1的主体为矩形框体结构，且板体1的内部开设有通槽，该通槽为安装槽2，安装槽2为远离板体1的一侧单向贯通结构，且安装槽2共设有四处，四处安装槽2分别开设在板体1的前后两侧面位置，且板体1中所开设的安装槽2的内部还开设有安装孔3，该安装孔3为前后两侧双向贯通结构，且安装孔3的直径小于安装槽2的直径，安装孔3的内壁上开设有内螺纹。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 艾斯尔光电(南通)有限公司 一种LED光刻掩膜版
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号