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申请/专利权人：上海格意光电材料有限公司
摘要：本实用新型属于半导体技术领域，尤其为一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，包括晶圆格栅，还包括设置在晶圆格栅一侧的调节组件，所述调节组件包括花篮本体、滑杆、调节块、传动臂、连接轴和调节板，所述花篮本体的表面设置有和所述调节块滑动连接的所述滑杆，本装置通过调节组件的工作能够有效对调节板以及晶圆格栅之间的间距进行快速调节，能够使该设计使用于各种尺寸不同的晶圆的清洁工作，并且具有较高的稳定性，而通过固定组件的工作能够对调节板的位置进行固定，从而使调节板和晶圆格栅之间的间距得到固定，能够表面在清洁过程中晶圆和调节板之间发生松动的情况发生。
主权项：1.一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，包括晶圆格栅1，其特征在于：还包括设置在晶圆格栅1一侧的调节组件2，所述调节组件2包括花篮本体21、滑杆22、调节块23、传动臂24、连接轴25和调节板26，所述花篮本体21的表面设置有和所述调节块23滑动连接的所述滑杆22，且所述调节块23的一侧和所述传动臂24的一端旋转连接，并且所述传动臂24的另一端旋转连接在所述连接轴25的表面上，同时所述连接轴25固定安装在所述调节板26靠近所述花篮本体21一侧的表面上，所述调节板26和所述晶圆格栅1的内表面滑动连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海格意光电材料有限公司 一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮
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