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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型提供一种低光亮剂损耗的导电薄膜电镀装置，包括：溶铜罐、缓冲槽、储液箱、工艺电镀槽、光亮剂回收机构；工艺电镀槽与储液箱之间以管路连接；缓冲槽的顶面不高于溶铜罐的底面和储液箱的底面；溶铜罐与缓冲槽之间分别连接有第一出液管路和第一回流管路；缓冲槽与储液箱之间分别连接有第二出液管路和第二回流管路；第一出液管路的起始端连接到溶铜罐顶部设置的溶铜罐溢流口；光亮剂回收机构串联于第一回流管路中。本技术方案中，通过设置光亮剂回收机构，可避免光亮剂向溶铜罐回流，进而避免光亮剂因高温而导致失效，大幅降低了光亮剂的损耗，节约了生产成本。
主权项：1.一种低光亮剂损耗的导电薄膜电镀装置，其特征在于，包括：溶铜罐1、缓冲槽14、储液箱10、工艺电镀槽9、以及光亮剂回收机构；所述工艺电镀槽9与所述储液箱10之间以管路连接；所述溶铜罐1配置有溶铜罐自循环管路22，所述缓冲槽14配置有缓冲槽自循环管路15；所述缓冲槽14的顶面不高于所述溶铜罐1的底面和所述储液箱10的底面；所述溶铜罐1与所述缓冲槽14之间分别连接有第一出液管路20和第一回流管路4；所述缓冲槽14与所述储液箱10之间分别连接有第二出液管路11和第二回流管路7；所述第一出液管路20的起始端连接到所述溶铜罐1顶部设置的溶铜罐溢流口2；所述光亮剂回收机构串联于所述第一回流管路4中。
全文数据：
权利要求：
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