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一种具有断线检测功能的硅棒切割设备 

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申请/专利权人:佛山市卓膜科技有限公司

摘要:本实用新型公开一种具有断线检测功能的硅棒切割设备,涉及线切割技术领域;其中,线切割机构包括辊轴和切割线,辊轴设有至少两根,切割线沿辊轴的延伸方向间隔绕设于所有的辊轴;传感器用于采集辊轴的应力数据,至少一根辊轴设有传感器;控制器分别与传感器和线切割机构电连接,且被配置成:当传感器所采集的应力数据超出设定范围时,给线切割机构发送停止信号。本实用新型反馈速度快,检测准确率高。

主权项:1.一种具有断线检测功能的硅棒切割设备,其特征在于,包括:线切割机构,包括辊轴和切割线,所述辊轴设有至少两根,所述切割线沿所述辊轴的延伸方向间隔绕设于所有的所述辊轴;传感器,用于采集所述辊轴的应力数据,至少一根所述辊轴设有所述传感器;控制器,分别与所述传感器和所述线切割机构电连接,且被配置成:当所述传感器所采集的应力数据超出设定范围时,给所述线切割机构发送停止信号。

全文数据:

权利要求:

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