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一种介质隔离型的背压式压力传感器 

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申请/专利权人:杭州智微传感科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种介质隔离型的背压式压力传感器,传感器芯体包括芯体基座、芯体组件和中间分隔件,芯体基座具有容纳腔和流通腔,芯体组件设置在容纳腔内,芯体组件用于检测所述流通腔内的压力,中间分隔件固定在芯体基座内,中间分隔件与芯体基座之间具有流通通道,流通通道的一端与流通腔连通,芯体组件对应流通通道的另一端设置,芯体组件包括电路板以及与电路板连接压力感应芯片和信号调理芯片,压力感应芯片和信号调理芯片的外侧罩设有金属材料制成的信号屏蔽罩。本实用新型可以保护压力感应芯片和信号调理芯片,压力感应芯片和信号调理芯片在信号处理和压力数据计算过程中,可以有效解决电磁干扰的问题,从而提高压力检测的精度。

主权项:1.一种介质隔离型的背压式压力传感器,其特征在于,包括传感器芯体,所述传感器芯体包括芯体基座、芯体组件和中间分隔件,所述芯体基座具有容纳腔和流通腔,所述芯体组件设置在所述容纳腔内,所述芯体组件用于检测所述流通腔内的压力,所述中间分隔件固定在芯体基座内,所述中间分隔件与芯体基座之间具有流通通道,流通通道的一端与流通腔连通,芯体组件对应流通通道的另一端设置,所述芯体组件包括电路板以及与电路板连接的压力感应芯片和信号调理芯片,所述压力感应芯片和信号调理芯片的外侧罩设有金属材料制成的信号屏蔽罩。

全文数据:

权利要求:

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