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申请/专利权人：和光同程光伏科技(宜宾)有限公司
摘要：本实用新型公开了用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置，涉及高温扩散领域，包括进气管和用于提升气体流动速率和均匀性的导流通道，进气管的进气口与气源的出气口连通，导流通道的进气口尺寸小于导流通道的出气口尺寸，导流通道的进气口与进气管的出气口连通，导流通道的出气口位于扩散炉内靠近进气端的一侧；在气源与扩散炉之间采用导流通道连接，能有效避免在进气端产生气体涡流，提升气体向腔体流动的速率和均匀性，从而进一步提高硅片经过扩散工艺后的方阻均匀性，这种方法能有效提高太阳电池良率。
主权项：1.用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置，其特征在于，包括：进气管；进气管的进气口与气源的出气口连通；用于提升气体流动速率和均匀性的导流通道；导流通道的进气口尺寸小于导流通道的出气口尺寸，导流通道的进气口与进气管的出气口连通，导流通道的出气口位于扩散炉内靠近进气端的一侧。
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权利要求：
百度查询： 和光同程光伏科技(宜宾)有限公司 用于改善扩散炉内气体均匀性的进气装置
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