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申请/专利权人：錼创显示科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种巨量转移设备，包括基座平台、第一基板载台、第二基板载台、至少一激光头及伺服马达模块。第一基板载台适于带动目标基板沿着第一方向相对于基座平台移动。第二基板载台适于带动至少一微型元件基板沿着第二方向相对于第一基板载台移动。至少一微型元件基板具有基板与至少一微型元件。至少一激光头适于移动至对应第二基板载台的目标位置，并朝向至少一微型元件基板发出激光束。激光束用以照射至少一微型元件基板，使至少一微型元件脱离基板并与目标基板相连接。伺服马达模块用以驱使第一基板载台、第二基板载台与至少一激光头移动。
主权项：1.一种巨量转移设备，其特征在于，包括：基座平台；第一基板载台，设置在所述基座平台上，且适于带动目标基板沿着第一方向相对于所述基座平台移动；第二基板载台，设置在所述基座平台上，且适于带动至少一微型元件基板沿着第二方向相对于所述第一基板载台移动，所述第一方向与所述第二方向相交，所述至少一微型元件基板具有基板与至少一微型元件，所述至少一微型元件设置在所述基板朝向所述目标基板的表面上；至少一激光头，适于移动至对应所述第二基板载台的目标位置，并朝向所述至少一微型元件基板发出激光束，所述激光束用以照射所述至少一微型元件基板，使所述至少一微型元件脱离所述基板并且与所述目标基板相连接，其中所述第二基板载台具有至少一开孔，所述至少一微型元件基板对应所述至少一开孔设置，且所述激光束适于经由所述至少一开孔照射所述至少一微型元件基板；至少一遮光罩，与所述至少一微型元件基板重叠设置，所述至少一遮光罩设置在所述第二基板载台的所述至少一开孔内，并且与所述至少一微型元件基板连动，所述至少一遮光罩具有重叠于所述至少一微型元件的至少一透光区，其中所述激光束的至少一部分还经由所述至少一透光区照射所述至少一微型元件基板，每一所述至少一透光区的区域面积小于所述第二基板载台的每一所述至少一开孔的开孔面积；以及伺服马达模块，用以驱使所述第一基板载台、所述第二基板载台与所述至少一激光头移动。
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