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申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

摘要：本发明公开了一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，解决了硅片在翻转工位上容易出现卡滞的问题。在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10）。本发明不会因异常片而造成二次异常片的出现。

主权项：1.一种可防卡滞的刻蚀下料机的硅片自动下料传送机构，包括刻蚀机机台（1）和硅片入篮传送线安装台（3），在刻蚀机机台（1）上设置有刻蚀后硅片下料传送辊（2），在硅片入篮传送线安装台（3）上分别设置有硅片入篮纵向皮带传送线（4）和硅片入篮横向皮带传送线（5），在刻蚀机机台（1）与硅片入篮传送线安装台（3）之间，设置有翻转杆龙门支撑架（6），在翻转杆龙门支撑架（6）上设置有翻转驱动轴（8），在翻转驱动轴（8）的一端连接有翻转驱动电机（7），翻转驱动电机（7）设置在翻转杆龙门支撑架（6）上，其特征在于，在翻转杆龙门支撑架（6）的内侧下端设置有漏吸硅片倾斜收料盒（11），漏吸硅片倾斜收料盒（11）的上端与刻蚀机机台（1）的台面连接在一起，在硅片入篮横向皮带传送线（5）上设置有翻转后的第一组硅片（13），在刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位上设置有第二组硅片（14），在第二组硅片（14）右侧的刻蚀后硅片下料传送辊（2）上设置有第三组硅片（15），在漏吸硅片倾斜收料盒（11）与刻蚀后硅片下料传送辊（2）上的翻转工位之间设置有漏吸硅片（12）；在翻转驱动轴（8）上设置有“U”形摆杆（9），“U”形摆杆（9）的左端与翻转驱动轴（8）固定连接在一起，在“U”形摆杆（9）的右端设置有吸盘（10），吸盘（10）与第二组硅片（14）吸附在一起；当第一组硅片（13）从刻蚀机中流出，被刻蚀后硅片下料传送辊（2）传送到翻转工位后，“U”形摆杆（9）顺时针旋转摆动，吸盘（10）吸附在硅片的未刻蚀面上，翻转驱动电机（7）驱动翻转驱动轴（8）逆时针旋转，“U”形摆杆（9）吸附有第一组硅片（13）旋转180度，将硅片翻转后放置到硅片入篮横向皮带传送线（5）上，使硅片被刻蚀面朝上，使之免受污染，硅片的未刻蚀面与传送皮带接触，传送皮带将第一组硅片（13）传送到硅片入篮纵向皮带传送线（4）上，其上的纵向皮带再将第一组硅片传送到篮具中，当第一组硅片（13）被传送离开硅片入篮横向皮带传送线（5）后，翻转驱动电机（7）驱动翻转驱动轴（8）顺时针旋转，“U”形摆杆（9）顺时针旋转180度，若此时，存在第一组的漏吸硅片（12），此时，漏吸硅片（12）正被传送进入漏吸硅片倾斜收料盒（11）中，漏吸硅片（12）的尾部会翘起，翘起部分正好进入到“U”形摆杆（9）的“U”形凹槽中，使“U”形摆杆（9）与漏吸硅片（12）的尾部翘起不会发生接触。

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