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申请/专利权人：苏州苏纳光电有限公司

摘要：本发明公开了一种晶圆自适应找平装置，包括载台、支撑模块和锁止模块，所述载台用于承载晶圆，一压印模板能够压合于晶圆上，所述支撑模块包括支撑机构以及活动机构，活动机构设置在支撑机构上，载台与活动机构活动连接，而能够摆动或者转动，支撑机构的至少部分能够沿第一方向移动，而使载台朝向模板所在方向移动，或者，背离模板所在方向移动；所述锁止模块其至少部分与载台连接，且用于将载台锁止在指定位置处。本发明提供的一种晶圆自适应找平装置通过设置支撑机构以及活动机构，能够自适应晶圆的不规则外形，在使压印模板压合晶圆的过程中增加晶圆与压印模板的接触面积，使晶圆尽可能的平整化，提高压印效果。

主权项：1.一种晶圆自适应找平装置，包括载台（1），所述载台（1）用于承载晶圆，一压印模板（7）能够压合于晶圆上，其特征在于，还包括：模板固定机构（6），所述压印模板（7）设置在所述模板固定机构（6）上，且所述模板固定机构（6）能够将所述压印模板（7）固定在指定位置处支撑模块，包括支撑机构（2）以及活动机构（3），所述活动机构（3）设置在所述支撑机构（2）上，所述载台（1）与所述活动机构（3）活动连接，而能够摆动或者转动，所述支撑机构（2）的至少部分能够沿第一方向移动，而使载台（1）朝向模板所在方向移动，或者，背离模板所在方向移动，所述支撑机构（2）包括第一支撑构件（21）、第二支撑构件（22）和锁定机构，所述第一支撑构件（21）与第二支撑构件（22）活动连接，且所述第一支撑构件（21）能够沿第一方向活动，所述锁定机构与所述第二支撑构件（22）连接，且能够将所述第一支撑构件（21）锁止在所述第二支撑构件（22）上；或者，所述支撑机构（2）包括第一支撑构件（21）、第二支撑构件（22）和锁定结构，所述锁定结构具有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部设置在所述第一支撑构件（21）上，所述第二连接部设置在所述第二支撑构件（22）上，所述第一连接部与第二连接部被配置为，当第一连接部与第二连接部相对或相背运动时，所述第一支撑构件（21）能够朝向或者背离第二支撑构件（22）移动，当第一连接部与第二连接部静止时，所述第一支撑构件（21）与第二支撑构件（22）锁止；锁止模块，其至少部分与所述载台（1）连接，且用于将所述载台（1）锁止在指定位置处，所述锁止模块包括顶升机构（4），所述顶升机构（4）包括第一伸缩构件（41）和锁止构件（42），所述第一伸缩构件（41）具有至少两个能够相互移动的伸缩部，且至少一伸缩部的至少部分能够与载台（1）抵接，所述锁止构件（42）设置在至少一伸缩部上，且能够将两个所述伸缩部锁止固定，所述第一伸缩构件（41）包括第一伸缩部（411）、第二伸缩部（412）和柔性部（413），所述第一伸缩部（411）活动设置在第二伸缩部（412）中，所述柔性部（413）设置在所述第二伸缩部（412）上，所述锁止构件（42）活动设置在所述第二伸缩部（412）上，且所述锁止构件（42）能够活动至与柔性部（413）抵接，或者，脱离与柔性部（413）的接触，当所述锁止构件（42）与柔性部（413）抵接时，所述柔性部（413）朝向靠近第一伸缩部（411）一侧压合而与所述第一伸缩部（411）固定。

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