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申请/专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部，弹簧阻挡部覆盖于相应的固定框的外侧面；弹簧与弹簧孔相适配，分别安装于相应的弹簧孔内，弹簧外端抵接于弹簧阻挡部的内侧面上。掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动活动框边到预设位置，然后将金属掩膜版张网并焊接在活动框边上。本发明能够抑制掩膜网面的下垂。
主权项：1.一种金属掩膜版框，其特征在于，包括：固定框（1），其呈矩形，且其四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔（12）；以及活动框边（2），具有四组，分别设置在所述固定框（1）的四边上，且均与固定框（1）的上侧面滑动连接，活动框边（2）具有弹簧阻挡部（212），弹簧阻挡部（212）覆盖于相应的固定框（1）的外侧面；以及所述的弹簧孔（12）内均装有与之相适配的弹簧（3），弹簧（3）外端抵接于所述弹簧阻挡部（212）的内侧面上；所述固定框（1）的上侧面设置有若干滑槽（11），位于固定框（1）同一边上的滑槽（11）相互平行；所述活动框边（2）的下侧面设置有与所述滑槽（11）相适配的若干滑轨（222），滑轨（222）与相应的滑槽（11）滑动连接；所述滑槽（11）的外端设置有限位部（111）；所述的活动框边（2）包括框边主体（21）和连接板（22），框边主体（21）和连接板（22）通过螺栓（23）可拆卸连接，框边主体（21）具有覆盖于固定框（1）上侧面的水平部分、所述的弹簧阻挡部（212）以及掩膜连接部（211），连接板（22）为适配框边主体（21）的下侧面的平板状工件，滑轨（222）设置于连接板（22）的下侧面；所述框边主体（21）的下侧面具有凹槽（213），所述连接板（22）上侧面具有与所述凹槽（213）相适配的凸台（221），所述的凸台（221）卡接于所述的凹槽（213）内。
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