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申请/专利权人：合肥开悦半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种机械手臂，包括底板、支撑组件、驱动组件、连接组件和夹持组件；所述驱动组件与所述连接组件活动连接，所述夹持组件与所述连接组件活动连接，所述连接组件组件和所述夹持组件均设置为两组，所述夹持组件的夹持部位设置为弧形结构，且弧度与晶圆的弧度相适应，所述驱动组件驱动两组所述夹持组件同步沿靠近或远离晶圆方向移动。本方案将对中步骤与运输步骤进行结合，减少工艺时间，且夹持的稳定性高，在运输过程中辅助夹持晶圆，使晶圆可以稳定传输至目标位置，避免出现飞片的问题。
主权项：1.一种机械手臂，包括底板和设置在底板上的支撑组件，其特征在于：还包括驱动组件、连接组件和夹持组件；所述驱动组件设置在所述底板上，所述驱动组件与所述连接组件活动连接，所述夹持组件与所述连接组件活动连接，所述连接组件和所述夹持组件均设置为两组，所述驱动组件驱动两组所述夹持组件同步沿靠近或远离晶圆方向移动；所述驱动组件包括驱动气缸、与所述驱动气缸的推杆连接的连接块，所述连接组件与所述连接块活动连接；所述连接块两侧均开设有腰型槽，所述连接组件靠近所述连接块一端设置有凸起结构，所述凸起结构伸入所述腰型槽中；所述连接组件包括相互连接的第一连杆、第二连杆和固定杆，所述第一连杆与所述第二连杆活动连接，所述第二连杆穿过所述固定杆设置，且二者滑动连接；所述夹持组件远离夹持晶圆一侧间隔设置有两限位杆，其中一个所述限位杆穿过固定杆与所述第二连杆活动连接，另一所述限位杆与固定杆活动连接；所述第二连杆上设置有一直线段，该直线段穿过所述固定杆设置；所述第一连杆的两端均设置有凸起结构，所述第二连杆的两端均设置有腰型槽，所述第一连杆一端的凸起结构伸入所述连接块上的腰型槽中，另一端的所述凸起结构伸入所述第二连杆一端的腰型槽中，穿过固定杆的所述限位杆上设置有凸起结构，该凸起结构伸入所述第二连杆另一端的腰型槽中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥开悦半导体科技有限公司 一种机械手臂
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