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申请/专利权人：哈尔滨工业大学;中国工程物理研究院材料研究所

摘要：一种超精密刨削减薄机床，涉及机械加工技术领域。为解决现有的超精密机床在加工有色金属时，切屑易在铣刀上发生缠绕，容易划伤易加工表面，进而导致加工表面的光洁度较差，从而导致加工精度较差的问题。底座的上表面一端设有纵向支撑板，纵向支撑板的正面中部设有X轴运动组件，X轴运动组件的移动输出端中部设有Y轴运动组件，Y轴运动组件的移动输出端中部设有切削深度微量控制系统，纵向支撑板的正面一端挂设有一个触发侧头无线收发单元，底座的上表面中部设有Z轴运动组件，底座的上表面一端由上到下依次设有工业显微系统和刚性刀架，底座的上表面另一端由上到下依次设有光谱共焦传感器和触发侧头。本发明适用于刨削加工技术领域。

主权项：1.一种超精密刨削减薄机床，其特征在于：它包括Y轴运动组件（1）、X轴运动组件（2）、冷却喷头（3）、触发侧头无线收发单元（4）、切削深度微量控制系统（5）、工业显微系统（6）、Z轴运动组件（7）、光谱共焦传感器（8）、触发侧头（9）、刚性刀架（10）、底座（11）和纵向支撑板（12）；底座（11）的上表面一端设有纵向支撑板（12），纵向支撑板（12）的正面中部设有X轴运动组件（2），X轴运动组件（2）的移动输出端中部设有Y轴运动组件（1），Y轴运动组件（1）的移动输出端中部设有切削深度微量控制系统（5），Y轴运动组件（1）的移动输出端一侧设有冷却喷头（3），纵向支撑板（12）的正面一端挂设有一个触发侧头无线收发单元（4），底座（11）的上表面中部设有Z轴运动组件（7），底座（11）的上表面一端由上到下依次设有工业显微系统（6）和刚性刀架（10），底座（11）的上表面另一端由上到下依次设有光谱共焦传感器（8）和触发侧头（9）；所述的Z轴运动组件（7）包括真空吸盘（7-1）、零点定位单元（7-2）、气体静压导轨（7-3）、Z轴滑板（7-4）、电机座（7-5）、Z轴驱动电机（7-6）、Z轴硬限位器（7-7）、Z轴电限位器（7-8）、电磁吸盘（7-9）、Z轴光栅尺（7-10）和Z轴读数头（7-11）；底座（11）的中部沿轴线方向设有一个气体静压导轨（7-3），气体静压导轨（7-3）上设有Z轴滑板（7-4），Z轴滑板（7-4）的上表面中央处设有零点定位单元（7-2），零点定位单元（7-2）的上表面中部设有真空吸盘（7-1），底座（11）上气体静压导轨（7-3）的一旁设有Z轴驱动电机（7-6），Z轴驱动电机（7-6）用于驱动Z轴滑板（7-4）在气体静压导轨（7-3）上滑动，且Z轴驱动电机（7-6）通过电机座（7-5）与底座（11）的上表面连接，气体静压导轨（7-3）的两端分别设有一个Z轴硬限位器（7-7），Z轴滑板（7-4）的短边端面上设有一个电磁吸盘（7-9），底座（11）上表面一端设有两个Z轴电限位器（7-8），且两个Z轴电限位器（7-8）相对于气体静压导轨（7-3）的轴线对称设置，底座（11）的上表面与Z轴滑板（7-4）下表面一端之间设有Z轴光栅尺（7-10），且Z轴光栅尺（7-10）的下表面与底座（11）的上表面固定连接，底座（11）的上表面与Z轴滑板（7-4）下表面另一端之间中部设有Z轴读数头（7-11），且Z轴读数头（7-11）的下表面与底座（11）的上表面固定连接。

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