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申请/专利权人：江苏锐精光电研究院有限公司;哈尔滨工业大学
摘要：本发明公开了一种基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置，包括照明模块，高色散柱透镜聚焦模块，柱形凹面光栅分光探测模块。利用高色散柱透镜将照明模块产生的宽光谱平行光束根据波长聚焦到不同轴向位置，且横向聚焦为一条直线，在测量量程内，不同波长的光的聚焦轴向位置与波长成线性关系。不同波长的反射光通过柱形凹面光栅分光后聚焦在面阵CCD像面不同区域上，根据扫描线上每个点的光谱成像结果实现样品表面形貌测量。该发明为非接触式测量装置，相比于传统单点扫描式光谱共焦装置能够大幅提升测量速度。
主权项：1.基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置，其特征在于：包括照明模块、高色散柱透镜聚焦模块和柱形凹面光栅分光探测模块；所述照明模块按照光线传播方向依次为：宽谱LED光源1、消色差柱面透镜一2、狭缝一3和消色差柱面透镜二4；所述宽谱LED光源1发出平行光，通过所述消色差柱面透镜一2将平行光聚焦至所述狭缝一3上，并通过所述消色差柱面透镜二4变为柱状平行光束；所述高色散柱透镜聚焦模块按照光线传播方向依次为：分光棱镜5、消球差柱透镜组6和高色散柱透镜7；所述照明模块出射的柱状平行光束入射至所述分光棱镜5后不改变传播方向进行透射，透射光通过消球差柱透镜组6后聚焦，聚焦光束入射至所述高色散柱透镜7后进行二次聚焦到样品8表面，聚焦为一条直线段；所述柱形凹面光栅分光探测模块按照光线传播方向依次为：消色差柱面透镜三9、狭缝二10、柱形凹面光栅11和相机12；样品8的反射光经过所述高色散柱透镜7和消球差柱透镜组6后出射为柱状平行光束，柱状平行光束经过分光棱镜5反射后入射至所述消色差柱面透镜三9，将柱状平行光束聚焦到所述狭缝二10上，出射的光束经过所述柱形凹面光栅11分光后聚焦到所述相机12上。
全文数据：
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百度查询： 江苏锐精光电研究院有限公司 哈尔滨工业大学 基于高色散柱透镜和柱形凹面光栅的线扫描式光谱共焦装置
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