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申请/专利权人：上海巅思智能科技有限公司

摘要：本发明涉及薄膜沉积制备技术领域，具体是一种电子束蒸发过程动态模拟仿真系统和方法，包括建立电子束蒸发过程模拟人机交互模型；建立第一档案数据，包括预先设定的第一衬底温度数组、第一电子束功率数组、第一质量差矩阵、第一作用时间T0、第一材料密度ρ、第一衬底面积S；将第一质量差矩阵进行二维拟合，得到第一档案关系映射；计算第一仿真厚度H1；建立第一薄膜增长方程组，求得第一仿真厚度增速vt；建立并展示第一薄膜动态三维模型。本发明通过建立电子束蒸发薄膜生长速度及厚度的定量计算模型，实现电子束蒸发薄膜形成动态过程的定量模拟和可视化展示，辅助技术人员学习、理解电子束蒸发及薄膜形成的微观过程。

主权项：1.一种电子束蒸发过程动态模拟仿真方法，其特征在于，所述方法包括：建立电子束蒸发过程模拟人机交互模型，所述电子束蒸发过程模拟人机交互模型包括输入界面和输出界面；所述输入界面的输入参数包括第一仿真温度K1、第一仿真电子束功率P1、仿真作用时间T1、图形放大倍数Z1、时间拉伸倍数Z2、预设增长速度Vset；建立第一档案数据，所述第一档案数据包括预先设定的第一衬底温度数组、第一电子束功率数组、第一质量差矩阵、第一作用时间T0、第一材料密度、第一衬底面积S；将第一质量差矩阵进行二维拟合，得到第一档案关系映射；读取第一仿真温度K1、第一仿真电子束功率P1、仿真作用时间T1，将所述第一仿真温度K1、第一仿真电子束功率P1经第一归一化处理后，输入所述第一档案关系映射，经第一归一化反变换后，得到第一仿真质量差M1；将第一仿真质量差M1输入公式，求得第一仿真厚度H1；根据仿真作用时间T1、预设增长速度Vset、第一仿真厚度H1，建立第一薄膜增长方程组，求得第一仿真厚度增速vt；根据仿真作用时间T1、第一仿真厚度H1、第一仿真厚度增速vt、图形放大倍数Z1、时间拉伸倍数Z2、预先设定的动态仿真帧数N，在三维坐标系上建立第一薄膜动态三维模型，通过所述电子束蒸发过程模拟人机交互模型的输出界面展示所述第一薄膜动态三维模型；所述根据仿真作用时间T1、预设增长速度Vset、第一仿真厚度H1，建立第一薄膜增长方程组，求得第一仿真厚度增速vt的方法包括：建立第一薄膜增长方程组，所述方程中t为薄膜增长仿真时间，0≤t≤T1，T1为仿真作用时间，vt为第一仿真厚度增速，Vset为预设增长速度，H1为第一仿真厚度，所述第一仿真厚度增速vt随t变化；将所述第一薄膜增长方程组离散化，构建第一薄膜增长线性方程组；求解所述第一薄膜增长线性方程组，得到第一仿真厚度增速vt的数值解；所述根据仿真作用时间T1、第一仿真厚度H1、第一仿真厚度增速vt、图形放大倍数Z1、时间拉伸倍数Z2、预先设定的动态仿真帧数N，在三维坐标系上建立第一薄膜动态三维模型，通过所述电子束蒸发过程模拟人机交互模型的输出界面展示所述第一薄膜动态三维模型的方法包括：在三维坐标系上建立第一衬底静态二维平面模型，所述静态二维平面模型的面积为第一衬底面积S；建立以第一衬底静态二维平面模型为底、以所述第一仿真厚度H1为高的第一薄膜静态三维模型；根据第一仿真厚度增速vt、仿真作用时间T1、预先设定的动态仿真帧数N，建立第一动态过渡模型；将第一衬底静态二维平面模型、第一薄膜静态三维模型与第一动态过渡模型叠加，得到原始薄膜动态三维模型；将原始薄膜动态三维模型输入薄膜直观展示算法，得到第一薄膜动态三维模型；所述薄膜直观展示算法包括：将原始薄膜动态三维模型的实际尺寸按预设的图形放大倍数Z1等比例放大，并按时间拉伸倍数Z2进行时间尺度拉伸，得到第一薄膜动态三维模型；通过所述电子束蒸发过程模拟人机交互模型的输出界面展示所述第一薄膜动态三维模型。

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