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申请/专利权人：北京惠然肯来科技中心(有限合伙);惠然科技有限公司
摘要：本申请公开了一种用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品。该载物单元包括：载物平板，其通过固定支架安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且载物平板上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台，其嵌入在载物平板的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。通过本申请实施例提供的方案，能够将载物平板及钉台一同固定在带电粒子束装置上，使得载物单元与带电粒子束装置形成一个整体，即使在震动的情况下，带电粒子束装置中的带电粒子束与样品的相对位置也不会产生变化，从而排除环境和装置震动对检测结果的负面影响，提高了带电粒子束装置性能检测的稳定性。
主权项：1.一种用于检测带电粒子束装置性能的载物单元，其特征在于，包括：载物平板（12），其通过固定支架（11）安装在带电粒子束装置的电子束输出端，且所述载物平板（12）上具有与电子束同轴的纵向开口，所述纵向开口的开口尺寸大于所述电子束输出端的开口尺寸；以及钉台（13），其嵌入在所述载物平板（12）的纵向开口内，用于放置检测物品，使电子束作用在检测物品上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) 惠然科技有限公司 用于带电粒子束装置的载物单元及相关产品
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