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申请/专利权人：杭州大和江东新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种刻蚀设备用陶瓷喷嘴的表面粗糙度检测装置及方法，旨在解决现有的陶瓷喷嘴粗糙度检测方法很难批量检测，无法保证陶瓷喷嘴检测粗糙度的稳定性、同步性和正确性的不足。该发明包括转台，转台上设置若干定位治具；机械手，抓取陶瓷喷嘴转移到定位治具上；若干定位治具实现陶瓷喷嘴的多个角度位置的安装；粗糙度检测仪，对若干定位治具上的陶瓷喷嘴进行多个角度位置的粗糙度检测。本发明的技术方案实现了对陶瓷喷嘴表面粗糙度的高效率、高合格率的批量检测，人工作业少、稳定性好。
主权项：1.一种刻蚀设备用陶瓷喷嘴的表面粗糙度检测装置，其特征是，包括：转台，转台上设置若干定位治具；机械手，抓取陶瓷喷嘴转移到定位治具上；若干定位治具实现陶瓷喷嘴的多个角度位置的安装；粗糙度检测仪，对若干定位治具上的陶瓷喷嘴进行多个角度位置的粗糙度检测。
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权利要求：
百度查询： 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种刻蚀设备用陶瓷喷嘴的表面粗糙度检测装置及方法
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