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申请/专利权人:北京信息科技大学
摘要:本发明公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器,属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体,柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝,受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本发明采用MEMS工艺制作,具有多功能性,能同时检测温度与压力,可实现曲面的柔性测量,体积小,成本低,能实时监测温压变化,稳定性好,灵敏度高,易于智能化与集成化,可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。
主权项:1.一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器,其特征在于,包括柔性基底层和受压弹性体,所述柔性基底层上设置一个压力检测电阻丝和一个环境温度检测电阻丝,其中,所述压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝相对于传感器中心轴对称布设;所述柔性基底层上表面与受压弹性体下表面紧密连接;所述环境温度检测电阻丝齿轮齿顶处的夹角为101°,压力检测电阻丝齿轮齿顶处的夹角为99°;所述柔性基底层上的环境温度检测电阻丝与压力检测电阻丝的距离为A,且2mm≤A≤3mm;所述压力检测电阻丝和环境温度检测电阻丝的通电方式为恒流供电;所述压力检测电阻丝作为热源;所述受压弹性体内部设置有若干孔隙。
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权利要求:
百度查询: 北京信息科技大学 一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器
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