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申请/专利权人：江西万年芯微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，涉及半导体部件除污装置技术领域，该基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架，固定架的一侧表面转动连接有转轴，转轴以固定架的竖直中心线为参照呈对称设置，转轴的外表面传动连接有输送带，输送带靠近固定架的一侧表面均匀固定连接有凸块，该装置在使用时，使气体均匀的覆盖至半导体部件的表面，确保半导体部件的各个角落都能被气体吹扫到，从而减少清洁死角，同时，避免半导体表面某些区域因距离吹扫孔较近，导致在除污时，受到较大的冲击力，造成的半导体表面损伤，使半导体部件每次在相同的地方进行表面除污，保持除污过程的一致性和可追溯性。
主权项：1.一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置，包括固定架1，所述固定架1的一侧表面转动连接有转轴2，所述转轴2以固定架1的竖直中心线为参照呈对称设置，所述转轴2的外表面传动连接有输送带3，其特征在于，所述输送带3靠近固定架1的一侧表面均匀固定连接有凸块4，所述固定架1远离转轴2一侧的表面固定连接有电机5，所述电机5的输出轴端贯穿固定架1且延伸至固定架1靠近转轴2的一侧，所述电机5输出轴延伸至转轴2的一端固定连接有连杆一6，所述连杆一6远离电机5的一端转动连接有连杆二7，所述固定架1靠近转轴2的一侧表面开设有滑槽一8，所述滑槽一8内部滑动连接有滑块9，所述滑块9与连杆二7远离连杆一6的一端转动连接，所述滑块9靠近输送带3的一侧表面转动连接有推杆10，所述滑块9靠近输送带3的一侧表面固定连接有挡柱11。
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权利要求：
百度查询： 江西万年芯微电子有限公司 一种基于高纯气体吹扫的半导体部件除污装置
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