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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：本发明提供水提供系统，无论该水提供系统距制造纯度高的水的装置的距离如何，都能够向加工装置提供纯度比规定的水平高的水。本发明的一个方面的水提供系统是提供加工装置中使用的水的水提供系统，其中，该水提供系统具有：水制造装置，其具有第一离子交换树脂塔和第一电阻率计，该第一离子交换树脂塔包含与该水接触的第一离子交换树脂，该第一电阻率计测量与该第一离子交换树脂接触过的该水的电阻率值；以及水调整装置，其具有第二离子交换树脂塔和第二电阻率计，该第二离子交换树脂塔包含与从该水制造装置提供的该水接触的第二离子交换树脂，该第二电阻率计测量与该第二离子交换树脂接触过的该水的电阻率值。
主权项：1.一种水提供系统，其提供加工装置中使用的水，其中，该水提供系统具有：水制造装置，其具有第一离子交换树脂塔和第一电阻率计，该第一离子交换树脂塔包含与该水接触的第一离子交换树脂，该第一电阻率计测量与该第一离子交换树脂接触过的该水的电阻率值；以及水调整装置，其具有第二离子交换树脂塔和第二电阻率计，该第二离子交换树脂塔包含与从该水制造装置提供的该水接触的第二离子交换树脂，该第二电阻率计测量与该第二离子交换树脂接触过的该水的电阻率值。
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