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申请/专利权人：中国科学院物理研究所
摘要：本发明提供了一种液相辅助硒化反应方法及液相辅助硒化反应装置。该液相辅助硒化反应方法包括如下步骤：将盛放有硒颗粒的硒蒸发容器和CZTS前驱体基片放置在同一腔室内且间隔开布置的不同温区处；对所述腔室进行抽真空处理，充入惰性气体，并进行预加热；将硒蒸发容器所在温区加热至400‑700℃，将CZTS前驱体基片所在温区加热至200‑450℃，以使硒蒸发容器内的硒蒸汽向CZTS前驱体基片所在温区移动时冷凝形成液态硒，并使液态硒沉积在CZTS前驱体基片的表面；将硒蒸发容器所在温区降温至200‑500℃，将CZTS前驱体基片所在温区升温至450‑700℃；停止对硒蒸发容器所在温区和CZTS前驱体基片所在温区加热，降至室温，得到CZTSSe薄膜。本发明方案提升CZTSSe薄膜的覆盖度、致密度以及缺陷性质。
主权项：1.一种液相辅助硒化反应方法，其特征在于，包括如下步骤：将盛放有硒颗粒的硒蒸发容器和CZTS前驱体基片放置在同一腔室内且间隔开布置的不同温区处；对所述腔室进行抽真空处理，充入惰性气体，并进行预加热；将所述硒蒸发容器所在温区加热至400-700℃，将所述CZTS前驱体基片所在温区加热至200-450℃，以使硒蒸发容器内的硒蒸汽向所述CZTS前驱体基片所在温区移动时冷凝形成液态硒，并使所述液态硒沉积在所述CZTS前驱体基片的表面；将所述硒蒸发容器所在温区降温至200-500℃，将所述CZTS前驱体基片所在温区升温至450-700℃；停止对所述硒蒸发容器所在温区和所述CZTS前驱体基片所在温区加热，降至室温，得到CZTSSe薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院物理研究所 一种液相辅助硒化反应方法及液相辅助硒化反应装置
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