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一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法 

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申请/专利权人:成都能斯特新材料科技有限公司

摘要:本发明公开了一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,涉及电子绝缘材料技术领域,制备方法包括的步骤有:在氧化铝基板上沉积铂电阻层;将铂电阻层刻蚀成所需要的图案;将刻蚀的图案在空气中退火,使图案层致密;进行激光调阻;配制绝缘隔离层浆液,采用浸渍提拉的方式在基板上涂覆绝缘隔离层浆液;绝缘隔离层浆液涂覆完毕之后,在空气中进行烧结。采用浸渍提拉的方法将绝缘隔离层浆液涂覆在沉积有铂电阻层的氧化铝基板上,一方面实现了对沉积有铂电阻层的氧化铝基板的绝缘保护,另一方面采用浸渍提拉的方式涂层绝缘隔离层,不会产生径向生长取向,且不会出现孔隙和裂纹,稳定性好,制备效率高,同时绝缘隔离层的厚度可控。

主权项:1.一种温度传感器绝缘隔离层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在氧化铝基板上沉积铂电阻层;将铂电阻层刻蚀成所需要的图案;将刻蚀的图案在空气中退火,使图案层致密;进行激光调阻;配制绝缘隔离层浆液,采用浸渍提拉的方式在基板上涂覆绝缘隔离层浆液;绝缘隔离层浆液涂覆完毕之后,在空气中进行烧结。

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