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一种可补偿读数头测量间距变化误差的位移测量方法及系统 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明涉及光电位移精密测量技术领域,具体提供一种可补偿读数头测量间距变化误差的位移测量方法及系统,首先通过线阵图像传感器采集的像素信息,进行译码和细分,获取直线位移测量数据,再根据像素灰度值计算点光源的光波至线阵图像传感器中心像素点的传输距离,依据该传输距离和三角形关系计算位移测量处线阵图像传感器至标尺光栅与点光源至标尺光栅的垂直距离和,将在距离和与零位移处的垂直距离和做差计算读数头的测量间距变化值,并依据其对直线位移测量数据进行误差补偿,消除位移测量过程中因读数头相对于标尺光栅的测量间距发生变化产生的位移误差。

主权项:1.一种可补偿读数头测量间距变化误差的位移测量方法,所述读数头包括相对固定的点光源和线阵图像传感器,所述点光源将标尺光栅上的编码图案反射到所述线阵图像传感器上,其特征在于,测量方法包括以下步骤:S1:依据所述线阵图像传感器上编码图案对应的像素获取直线位移测量数据;S2:依据所述线阵图像传感器上像素灰度值计算所述点光源发出的球面波经所述标尺光栅反射至所述线阵图像传感器中心像素点的球面波传输距离,包括:S21:建立所述线阵图像传感器上任意像素点的像素灰度值的表达式: ;其中,,表示中心像素点,表示所述线阵图像传感器的曝光系数,表示由所述点光源发出,经所述标尺光栅反射至所述中心像素点的球面波,在所述点光源发出时的初始光强;S22:通过所述线阵图像传感器读取所有像素点的灰度值,通过最小二乘法拟合获得系数和的数值;依据系数和的数值,计算得到所述点光源发出的球面波经所述标尺光栅反射至所述线阵图像传感器中心像素点的传输距离;S3:计算位移测量处所述线阵图像传感器至标尺光栅与所述点光源至标尺光栅的垂直距离和,其中,为所述线阵图像传感器与所述点光源的横向距离;S4:依据零位移处所述线阵图像传感器至标尺光栅与所述点光源至标尺光栅的初始垂直距离和以及位移测量处的垂直距离和,计算所述读数头的测量间距变化值,并根据所述读数头的测量间距变化值对直线位移测量数据进行补偿,获得补偿后的直线位移测量数值为: 。

全文数据:

权利要求:

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