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申请/专利权人：湖北九峰山实验室
摘要：本发明提供一种具有三维鱼骨形阳极的多沟道肖特基二极管及其制备方法，属于半导体器件技术领域。该肖特基二极管包括依次层叠的衬底、缓冲层、多沟道结构和帽层，以及阳极和阴极；该多沟道结构包括依次交替层叠的沟道层和势垒层；阴极设置在帽层和多沟道结构的两侧，并与多沟道结构形成欧姆接触；位于两个阴极之间的帽层和多沟道结构组成的结构上设置有多个间隔排列的阳极凹槽，阳极沉积在阳极凹槽内以及相邻两个阳极凹槽之间的帽层的表面，使得阳极的整体形成具有阳极场板的三维鱼骨形结构；阳极与多沟道结构形成肖特基接触。该肖特基二极管具有寄生效应小、导通电阻小、击穿电压大、开启电压小的特点。
主权项：1.一种具有三维鱼骨形阳极的多沟道肖特基二极管，其特征在于，包括依次层叠的衬底、缓冲层、多沟道结构和帽层，以及阳极和阴极；所述多沟道结构包括依次交替层叠的沟道层和势垒层，最底层的所述沟道层位于所述缓冲层背离所述衬底的表面上；所述阴极设置在所述帽层和所述多沟道结构的两侧，并与所述多沟道结构形成欧姆接触；位于所述阴极之间的所述帽层和所述多沟道结构上设置有多个间隔排列的阳极凹槽，所述阳极沉积在所述阳极凹槽内和相邻两个所述阳极凹槽之间的所述帽层的表面，使得所述阳极的整体形成具有阳极场板的三维鱼骨形结构；所述阳极与所述多沟道结构形成肖特基接触。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖北九峰山实验室 具有三维鱼骨形阳极的多沟道肖特基二极管及其制备方法
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