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光束调控式垂直腔面发射激光器及其制备方法 

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申请/专利权人:江苏长光时空光电技术有限公司;长春中科长光时空光电技术有限公司

摘要:本发明涉及VCSEL技术领域,尤其涉及一种光束调控式垂直腔面发射激光器及其制备方法,光束调控式垂直腔面发射激光器包括衬底,在衬底的下表面制备有N面电极,在衬底的上表面制备有外延结构,在外延结构的上表面制备有P面电极,在外延结构与P面电极的上表面制备有用于将光束整形为线光源的光束调控层,光束调控层为条状凹型曲面结构。本发明在出光口的上表面生长用于对光束进行整形的光束调控层,可以实现线光源的集成化,具有体积小、集成度高、制作简单的特点。

主权项:1.一种光束调控式垂直腔面发射激光器,包括衬底,在所述衬底的下表面制备有N面电极,在所述衬底的上表面制备有外延结构,在所述外延结构的上表面制备有P面电极,其特征在于,在所述外延结构与所述P面电极的上表面制备有用于将光束整形为线光源的光束调控层,所述光束调控层为条状凹型曲面结构。

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权利要求:

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