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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法，利用两种不同波长的连续光束激发光与促进光在双色双步吸收光刻胶中产生自由基，结合促进光束在聚合过程中的光力效应，实现三维结构的超分辨刻写，并且采用笼型聚倍半硅氧烷单体与阻聚剂，实现在650℃下褪火形成3D石英玻璃结构。利用以上原理，将不同波长激发光与促进光束先进行合束，而后通过光束扫描系统入射到成像面，形成激发光与促进光中心重合的刻写点，在双色双步吸收与光力作用的共同作用下，实现超分辨3D石英玻璃的制备。
主权项：1.一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法，其特征在于，包括：在基板上涂上光刻胶，并且放于刻写系统物镜焦面处；所述光刻胶包括双色双步吸收光引发剂、笼型聚倍半硅氧烷单体和阻聚剂；将两束不同波长的连续光束同时入射，在焦平面上形成同心的双光束刻写点；所述两束不同波长的连续光束为激发光和促进光；其中，将激发光功率调制至当下刻写速度的阈值以下；调制促进光功率以引发双色双步吸收效应，在所述光刻胶中双光束聚焦区域产生自由基；在促进光的光力作用下，所述自由基在结合笼型聚倍半硅氧烷单体过程中向双光束中心运动，并减少其向四周的扩散；控制刻写系统进行任意3D结构的刻写，并且经过显影后形成微纳3D结构；将所述微纳3D结构进行退火处理，得到超分辨3D石英玻璃。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种连续光超分辨3D石英玻璃制备方法
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