龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：芯联集成电路制造股份有限公司
摘要：本发明提供一种扩展电阻测试样品及其制备方法和测试方法，扩展电阻测试样品的制备方法包括：提供半导体样品；其中，半导体样品包括非测试区域和位于非测试区域中的目标测试区域，目标测试区域的表面形成有目标测试图形，非测试区域的表面形成有凹凸不平的非测试图形；在半导体样品的表面涂覆涂层，以覆盖目标测试图形和非测试图形；对涂层进行平坦化处理，以得到扩展电阻测试样品。本发明可以保证研磨角测试的准确性，提高了测试深度值及其对应的电阻率的准确性，且测试可重复性好。
主权项：1.一种扩展电阻测试样品的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：提供半导体样品；其中，所述半导体样品包括非测试区域和位于所述非测试区域中的目标测试区域，所述目标测试区域的表面形成有目标测试图形，所述非测试区域的表面形成有凹凸不平的非测试图形；在所述半导体样品的表面涂覆涂层，以覆盖所述目标测试图形和所述非测试图形；对所述涂层进行平坦化处理，以得到所述扩展电阻测试样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯联集成电路制造股份有限公司 扩展电阻测试样品及其制备方法和测试方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号