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申请/专利权人：湖北兴福电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种高纯度电子级NMP的提纯方法。具体地，将杂质含量较高的工业级NMP通过进液泵输送至阳床树脂塔塔顶脱除绝大部分金属阳离子杂质；再经由混床树脂塔脱除剩余的痕量金属及少量阴离子杂质，将物料输送至脱轻精馏塔，脱除水分；最后通过膜组件去除固、柔性颗粒物得到最终产品电子级NMP。该方法可将各金属含量均降至0.1ppb以下，SO42‑、Cl‑、NO3‑等阴离子含量降至10ppb以下，水分降至50ppm以下，≥0.5um的颗粒降至10pcsml。该方法能耗低，产品纯度高，可作清洗剂、溶剂等应用于各类半导体高端制程工艺中。
主权项：1.一种高纯度电子级NMP的提纯方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将工业级NMP通过阳床树脂脱除重金属阳离子；步骤2：将经阳床树脂脱除重金属离子的中间物料经混床树脂脱除剩余的痕量金属及少量阴离子杂质；步骤3：经混床树脂脱除后得到的物料经脱轻精馏塔脱除水分；步骤4：将从脱轻塔塔底采出的物料经由膜组件，脱除固、柔性颗粒物，得到高纯度电子级NMP。
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权利要求：
百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种高纯度电子级NMP的提纯方法
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