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申请/专利权人：之江实验室
摘要：一种离电子式压力传感器，包括上电极和下电极，上电极和下电极是导电薄膜，上电极和下电极之间设有离子弹性体，其特征在于，上电极和下电极的表面被相同材质的离子弹性体贴覆，空气腔存在于离子弹性体的内部，空气腔的各个壁均为离子弹性体。本发明还包离电子式压力传感器的制备方法。本发明突破典型离电子式压力传感器结构中空气腔必需有一部分腔壁为电极材料的限制，结构设计更灵活，不止可以设计离子弹性体的二维表面微结构，还可以设计三维体内孔隙结构。
主权项：1.离电子式压力传感器，其特征在于，包括上电极和下电极，上电极和下电极是导电薄膜，上电极和下电极之间设有离子弹性体，其特征在于，上电极和下电极的表面被相同材质的离子弹性体贴覆，空气腔存在于离子弹性体的内部，空气腔的各个壁均为离子弹性体。
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百度查询： 之江实验室 一种离电子式压力传感器及其制备方法
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