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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：提供振动元件和振动器件，振动元件和振动器件的CI值小且是小型的。振动元件包含基部和振动臂，振动臂包含臂部和宽度比臂部宽的宽幅部，臂部在第1面侧形成有第1槽，在第2面侧形成有第2槽，在设臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，臂部的第1面与第2面之间的厚度T满足110μm≥T≥150μm，在设第1槽的深度为t1、第2槽的深度为t2时，满足0.884≥t1+t2T≥0.990，在设夹着第1槽排列的第1面的宽度和夹着第2槽排列的第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥WbT≥0.0326，振动臂的长度L1满足L1≥1000μm。
主权项：1.一种振动元件，其中，该振动元件包含基部和与所述基部连接的振动臂，所述振动臂包含：臂部；以及宽幅部，其位于所述臂部的与所述基部侧相反的一侧，宽度比所述臂部宽，所述臂部包含第1面、第2面、第1侧面和第2侧面，在所述第1面侧形成有第1槽，在所述第2面侧形成有第2槽，在设所述臂部的宽度为Wa时，满足30μm≥Wa≥75μm，所述臂部的所述第1面与所述第2面之间的厚度T满足110μm≥T≥150μm，在设所述第1槽的深度为t1、所述第2槽的深度为t2时，满足0.884≥t1+t2T≥0.990，在设夹着所述第1槽排列的所述第1面的宽度和夹着所述第2槽排列的所述第2面的宽度为Wb时，满足0.0056≥WbT≥0.0326，所述振动臂的长度L1满足L1≥1000μm。
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