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散热盖、芯片封装结构及设备互连系统 

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申请/专利权人:华为技术有限公司

摘要:本申请实施例公开一种散热盖、芯片封装结构及设备互连系统,涉及半导体散热技术领域,用于提高对芯片散热的可靠性及对芯片的散热能力,并能够消除芯片的局部热点。散热盖包括:底板、盖板和中间隔板。盖板位于底板的一侧,且与底板相连接。中间隔板连接于底板和盖板之间。中间隔板与底板之间形成下层通道,中间隔板与盖板之间形成上层通道,上层通道包括相间隔的进水通道和出水通道;中间隔板具有第一开口和第二开口,第一开口连通进水通道和下层通道,第二开口连通下层通道和出水通道。上述散热盖为3D液冷散热盖,上层通道和第一开口相配合,用于分配冷却介质的流量,将冷却介质引流至指定冷却区域,下层通道用于吸收芯片的散热。

主权项:1.一种芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构包括:芯片;散热盖,覆盖所述芯片;其中,所述散热盖包括:底板;盖板,位于所述底板远离所述芯片的一侧,且与所述底板相连接;中间隔板,连接于所述底板和所述盖板之间;所述中间隔板与所述底板之间形成下层通道,所述中间隔板与所述盖板之间形成上层通道,所述上层通道包括相间隔的进水通道和出水通道;所述中间隔板具有第一开口和第二开口,所述第一开口连通所述进水通道和所述下层通道,所述第二开口连通所述下层通道和所述出水通道;所述下层通道覆盖所述芯片的至少一部分。

全文数据:

权利要求:

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