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申请/专利权人：上海锐畅医疗科技有限公司
摘要：本发明提供了一种氧化铬薄膜及其制备方法和应用，属于涂层技术领域。本发明提供了一种氧化铬薄膜的制备方法，包括以下步骤：在流动的气氛中，采用Cr靶在基底表面溅射沉积氧化铬，得到所述氧化铬薄膜；所述气氛中包括氧气和惰性气体；所述气氛中氧分压为33.3~75%。本发明通过调整氧分压来细致控制氧化铬薄膜的电阻率，实现了从低电阻到高电阻的宽范围调节。实施例结果表明，在50%的氧分压下制备的薄膜的电阻率最低，可达到1kΩ·cm，这一电阻率适用于需要较低电阻的应用场景；在75%的氧分压下制备的薄膜的电阻率显著提升至65kΩ·cm。
主权项：1.一种氧化铬薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：在流动的气氛中，采用Cr靶在基底表面溅射沉积氧化铬，得到所述氧化铬薄膜；所述气氛中包括氧气和惰性气体；所述气氛中氧分压为33.3~75%。
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百度查询： 上海锐畅医疗科技有限公司 一种氧化铬薄膜及其制备方法和应用
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