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申请/专利权人：武汉高芯科技有限公司
摘要：本发明涉及红外材料制备技术领域，提供了一种红外超构表面透镜的制作方法，包括如下步骤：S1，在器件层顶面形成与所需超构表面微结构形状一致的光刻胶图形；S2，从器件层顶面对器件层进行刻蚀，形成若干微结构；S3，去除光刻胶，将器件层的顶面与透镜基底结合；S4，去除器件层上除所需超构表面微结构以外的多余物，得到具有高度一致的若干微结构的超构表面透镜。本发明通过将刻蚀后的器件层的顶面与透镜基底结合，保证超构表面微结构靠近透镜基底的一侧是平齐的，通过去除器件层上的多余物，保证超构表面微结构远离透镜基底的一侧也是平齐的，可以得到平面尺寸精准，深度一致的超构表面微结构，从而保证最终成像质量。
主权项：1.一种红外超构表面透镜的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，在器件层顶面形成与所需超构表面微结构形状一致的光刻胶图形；S2，从所述器件层顶面对器件层进行刻蚀，形成若干微结构；S3，去除光刻胶，将器件层的顶面与透镜基底结合；S4，去除器件层上除所需超构表面微结构以外的多余物，得到具有高度一致的若干微结构的超构表面透镜。
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百度查询： 武汉高芯科技有限公司 一种红外超构表面透镜的制作方法
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