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无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法及曝光系统 

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申请/专利权人:合肥睿翼创智技术开发有限公司

摘要:本发明的一种无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法及曝光系统,包括对待曝光图形进行图形变换处理,得到待曝光图形的副本;对待曝光图形的副本按数据处理单元待处理区域进行图形条带化,得到待曝光条带图形;依据预设的直接帧化算法,结合扫描步长、扫描方向、空间光调制器的配置和扫描倾斜角,逐帧改变帧化位置,并依据待曝光条带图形在帧化位置的图形集合生成帧图像,得到帧图像序列;本发明没有数据量巨大的条带栅格化、数据压缩和解压缩、条带图像倾斜化等步骤,减轻了数据计算、数据缓存与传输的压力,降低了对硬件资源的需求,提高了实时性,充分利用了数据处理单元的计算资源,简化了开发过程。

主权项:1.一种无掩膜光刻系统的直帧式数据处理方法,其特征在于,包括以下步骤:图形变换处理:对缓存的待曝光图形进行图形变换处理,得到待曝光图形的副本;图形条带化:对待曝光图形的副本按数据处理单元待处理区域截取条带,得到待曝光条带图形;生成帧图像:依据预设的直接帧化算法,结合扫描步长、扫描方向、空间光调制器的配置和扫描倾斜角,逐帧改变帧化位置,并依据待曝光条带图形在帧化位置的图形集合生成帧图像,得到帧图像序列。

全文数据:

权利要求:

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