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申请/专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种激光加工方法以及透明硬脆材料的切割方法。该激光加工方法包括：将激光光束聚焦于待加工对象的表面形成激光光斑，使所述激光光斑绕选定轴线变线速度旋转，以及，使所述激光光斑沿所述待加工对象的表面平移，以除去与所述激光光斑接触的待加工对象材料，从而在所述待加工对象的表面形成切缝，其中，所述激光光斑内的功率密度大于待加工对象材料的烧蚀阈值，所述选定轴线与所述待加工对象的表面交叉。本发明能够实现透明硬脆材料的高效率切割，提高了材料的去除率，缩短了加工时间，大幅提升了生产效率，同时有效降低了微槽或切缝的锥度。
主权项：1.一种激光加工方法，其特征在于，包括：将激光光束聚焦于待加工对象的表面形成激光光斑，使所述激光光斑绕选定轴线变线速度旋转，以及，使所述激光光斑沿所述待加工对象的表面平移，以除去与所述激光光斑接触的待加工对象材料，从而在所述待加工对象的表面形成切缝，其中，所述激光光斑内的功率密度大于待加工对象材料的烧蚀阈值，所述选定轴线与所述待加工对象的表面交叉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 激光加工方法以及透明硬脆材料的切割方法
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