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申请/专利权人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要:本发明涉及一种纳米天线路由单元、光谱路由器。其中光谱路由器包括纳米天线路由单元,以及两个对称分布在所述纳米天线路由单元两侧的光栅端口;所述纳米天线路由单元包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光分别路由到不同方向后被所述光栅端口接收。本发明在提高消光比的同时保持了宽带宽,且结构简单,可在等离子光电芯片里集成,提高了器件的集成度,同时降低了制造复杂度。
主权项:1.一种纳米天线路由单元,其特征在于,包括衬底和在所述衬底上形成的金膜,所述金膜表面具有两个相接的深度互不相同的凹槽,两个所述凹槽用来将不同波段的光信号按所述不同波段路由到不同方向。
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