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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种方法包括接收与传感器在制造腔室的第一制造程序期间进行的测量相关联的第一数据。此方法还包括接收第二数据。此第二数据包括与此第一数据相关联的参考数据。此方法还包括将此第一及第二数据提供给比较模型。此方法还包括自此比较模型接收与此第一及第二数据相关联的相似性分数。此方法还包括鉴于此相似性分数进行校正动作。
主权项：1.一种方法，包含：接收与传感器在制造腔室的第一制造程序期间进行的测量相关联的第一数据；接收第二数据，其中所述第二数据包含与所述第一数据相关联的参考数据；将所述第一数据及所述第二数据提供给比较模型；自所述比较模型接收与所述第一数据及所述第二数据相关联的相似性分数；及鉴于所述相似性分数引起校正动作的执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于制造设备的诊断工具与工具的匹配方法和比较下钻分析方法
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