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申请/专利权人：奥乐斯科技有限公司
摘要：本发明提供重叠计测装置。该装置包括：光源单元，设置为将照明指向重叠计测目标，形成于第一层上的第一填充单元与形成于第一层的上方或下方堆叠的第二层上的第二填充单元位于重叠计测目标上；透镜单元，形成有物镜和透镜焦点致动器，物镜用于将照明聚光于重叠计测目标中某一点的检测位置，透镜焦点致动器用于调节物镜与重叠计测目标间的距离；检测单元，通过检测位置上反射的光束获取检测位置上的焦点图像；以及控制单元，将检测单元检测的样本图像与预先储存的设定模型图像进行对准，并获取对准后的样本图像与设定模型图像的CI信息，根据CI信息确定的焦点控制透镜单元并检测多个图像，比较多个图像的中心点，并以差异值计算重叠。
主权项：1.一种重叠计测装置，包括：光源单元，其设置为将照明指向重叠计测目标，形成于第一层上的第一填充单元与形成于所述第一层的上方或下方堆叠的第二层上的第二填充单元位于所述重叠计测目标上；透镜单元，其形成有物镜和透镜焦点致动器，所述物镜用于将所述照明聚光于所述重叠计测目标中某一点的检测位置，所述透镜焦点致动器用于调节所述物镜与所述重叠计测目标间的距离；检测单元，其通过所述检测位置上反射的光束获取所述检测位置上的焦点图像；以及控制单元，其将所述检测单元检测的样本图像与预先储存的设定模型图像进行对准，并获取对准后的所述样本图像与所述设定模型图像的CI信息，根据所述CI信息确定的焦点控制所述透镜单元并检测多个图像，对所述多个图像的中心点进行比较，并以差异值计算重叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奥乐斯科技有限公司 重叠计测装置及重叠计测方法
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