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申请/专利权人：芜湖通潮精密机械股份有限公司
摘要：本实用新型属于有机发光二极体技术领域的可改变孔径径深的气体扩散器。本体中心部2和本体边角部3位置分别设置气体扩散孔4，气体扩散孔4包括直孔段5、毛细孔段6、喇叭孔段7，本体边角部3位置的气体扩散孔4的毛细孔段6的高度尺寸大于或小于本体中心部2位置的气体扩散孔4的毛细孔段6的高度尺寸；本体边角部3位置的气体扩散孔4的直孔段5的高度尺寸小于或大于本体中心部2位置的气体扩散孔4的直孔段5的高度尺寸。本实用新型所述的可改变孔径径深的气体扩散器，能够有效改善CVD成膜时因气流四周扩散不均造成的膜厚不均一性问题，提升产品品质。
主权项：1.一种可改变孔径径深的气体扩散器，其特征在于：扩散器本体（1）包括本体中心部（2）和本体边角部（3），本体中心部（2）和本体边角部（3）位置分别设置气体扩散孔（4），气体扩散孔（4）包括直孔段（5）、毛细孔段（6）、喇叭孔段（7），本体边角部（3）位置的气体扩散孔（4）的毛细孔段（6）的高度尺寸大于或小于本体中心部（2）位置的气体扩散孔（4）的毛细孔段（6）的高度尺寸；本体边角部（3）位置的气体扩散孔（4）的直孔段（5）的高度尺寸小于或大于本体中心部（2）位置的气体扩散孔（4）的直孔段（5）的高度尺寸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芜湖通潮精密机械股份有限公司 一种可改变孔径径深的气体扩散器
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