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一种密封结构及芯片烧结用压持机构 

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申请/专利权人:快克智能装备股份有限公司;江苏快克芯装备科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种密封结构,用于实现活塞压杆与活塞板之间的密封,活塞板上开设有活塞孔,活塞压杆可纵向滑动地设置在活塞孔内,活塞孔的孔壁上向内凹陷形成有安装孔,密封结构包括内密封圈和套设在内密封圈外部的外密封圈,内密封圈与外密封圈均由弹性材料制成,内密封圈设置在安装孔内,活塞压杆插入至内密封圈内时,内密封圈及外密封圈发生形变与安装孔的孔壁紧密贴合。本实用新型的密封结构,通过设置有内密封圈,在活塞压杆插入至内密封圈及活塞孔内,从而能够使得内密封圈及外密封圈发生形变与安装孔的孔壁紧密贴合,实现安装孔的密封,密封结构的密封效果较好。本实用新型还提供了一种带有该密封结构的芯片烧结用压持机构。

主权项:1.一种密封结构,用于实现活塞压杆与活塞板之间的密封,所述活塞板上开设有活塞孔,所述活塞压杆可纵向滑动地设置在所述活塞孔内,所述活塞孔的孔壁上向内凹陷形成有安装孔,其特征在于:所述密封结构包括内密封圈和套设在所述内密封圈外部的外密封圈,所述内密封圈与所述外密封圈均由弹性材料制成,所述内密封圈设置在所述安装孔内,所述活塞压杆插入至所述内密封圈内时,所述内密封圈及所述外密封圈发生形变与所述安装孔的孔壁紧密贴合。

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权利要求:

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