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一种下降法晶体生长炉的炉膛组 

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申请/专利权人:福州克雷斯试验设备有限公司

摘要:本申请涉及一种下降法晶体生长炉的炉膛组,包括工作台,所述工作台的顶部固定安装有保护罩,所述保护罩的内部固定安装有保温桶,所述保护罩内设置有调节结构,所述调节结构包括旋转电机,所述旋转电机的输出端上固定安装有延伸至所述保温桶内侧的旋转盘,所述旋转盘的顶部固定安装有盛放皿。该下降法晶体生长炉的炉膛组,通过设置保护罩内安装保温桶和石墨加热器,设置盛放皿和延伸管用于放置坩埚,通过设置旋转盘连接旋转电机,使得坩埚能够在保温桶内部进行升温融化后,由旋转电机带动旋转,从而提高晶体和杂质的分层效果,同时设置延伸架、滚轮和限位环,使得盛放皿相对于延伸管的转动稳定。

主权项:1.一种下降法晶体生长炉的炉膛组,包括工作台1,其特征在于:所述工作台1的顶部固定安装有保护罩2,所述保护罩2的内部固定安装有保温桶4,所述保护罩2内设置有调节结构;所述调节结构包括旋转电机10,所述旋转电机10的输出端上固定安装有延伸至所述保温桶4内侧的旋转盘8,所述旋转盘8的顶部固定安装有盛放皿9,所述保温桶4的顶部固定安装有延伸至所述盛放皿9内的延伸管11。

全文数据:

权利要求:

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