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申请/专利权人：普乐新能源(蚌埠)有限公司
摘要：本实用新型给出了一种低压化学气相沉积镀膜设备的载片舟；包括主体框架，主体框架内部设有空腔，主体框架的空腔与主体框架外部相通，主体框架空腔内壁依次开有若干放置硅片的载片槽，主体框架的材质选用因瓦合金。因瓦合金材质载片舟符合低压化学气相沉积镀膜的要求，还可以有效减少石英材质载片舟在日常使用中的损坏，大大提升了载片舟的使用寿命，因瓦合金材质载片舟可以作为现有石英材质载片舟的替代。
主权项：1.一种低压化学气相沉积镀膜设备的载片舟，其特征在于：包括主体框架100，主体框架100内部设有空腔150，主体框架100的空腔150与主体框架100外部相通，主体框架100空腔150内壁依次开有若干放置硅片的载片槽160，主体框架100的材质选用因瓦合金。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 普乐新能源(蚌埠)有限公司 低压化学气相沉积镀膜的载片舟
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