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申请/专利权人：富芯晶圆制造(深圳)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆快速切割的切割线，包括：第一金属丝、第二金属丝和第三金属丝，所述第二金属丝呈波浪形连续缠绕在直线状态的第一金属丝表面，所述第三金属丝呈波浪形连续缠绕在直线状态的第一金属丝表面并与第二金属丝相交叉，所述第二金属丝与第一金属丝在交点焊接形成第一焊点，所述第三金属丝与第一金属丝在交点焊接形成第二焊点。通过上述方式，本实用新型所述的用于晶圆快速切割的切割线，通过第一金属丝进行抗拉，利用第二金属丝和第三金属丝在第一金属丝两侧形成砂浆暂存槽，运行过程中可以携带更多的砂浆，将砂浆中的磨料送入切割槽，提升了晶圆从晶棒上切割下来的效率和切口质量。
主权项：1.一种用于晶圆快速切割的切割线，其特征在于，包括：第一金属丝、第二金属丝和第三金属丝，所述第二金属丝呈波浪形连续缠绕在直线状态的第一金属丝表面，所述第三金属丝呈波浪形连续缠绕在直线状态的第一金属丝表面并与第二金属丝相交叉，所述第二金属丝与第一金属丝在交点焊接形成第一焊点，所述第三金属丝与第一金属丝在交点焊接形成第二焊点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富芯晶圆制造(深圳)有限公司 一种用于晶圆快速切割的切割线
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