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申请/专利权人：新安硅材料(瑞丽)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种金属硅库存成品除尘清洗装置，属于金属硅除尘清洗技术领域，该除尘清洗装置包括底座，所述底座顶端中心处固定安装清洗池，所述底座顶端两侧滑动安装支撑块，所述支撑块上安装有驱动组件，所述支撑块顶端固定安装气缸，所述气缸的输出端固定安装支架，两个所述支架之间对称固定安装存放篮，所述存放篮为网状滤板组成，所述存放篮两侧与所述清洗池内壁滑动连接，所述清洗池一侧固定安装超声波发生器，所述清洗池内壁设置有凹槽，所述凹槽内壁固定安装换能器，所述换能器与所述超声波发生器电性连接，此装置可以在一批硅片清洗时，同时对另一批硅片进行吹干或拿取，提高了清洗的效率。
主权项：1.一种金属硅库存成品除尘清洗装置，包括底座，其特征在于，所述底座顶端中心处固定安装清洗池，所述底座顶端两侧滑动安装支撑块，所述支撑块上安装有驱动组件，所述支撑块顶端固定安装气缸，所述气缸的输出端固定安装支架，两个所述支架之间对称固定安装存放篮，所述存放篮为网状滤板组成，所述存放篮两侧与所述清洗池内壁滑动连接，所述清洗池一侧固定安装超声波发生器，所述清洗池内壁设置有凹槽，所述凹槽内壁固定安装换能器，所述换能器与所述超声波发生器电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新安硅材料(瑞丽)有限公司 一种金属硅库存成品除尘清洗装置
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