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申请/专利权人：西安工业大学

摘要：本发明公开了一种基于点衍射瞬时剪切干涉的波前绝对检测装置和方法，包括激光衍射组件、待测物镜、二维位相光栅、多孔光阑板组件、电荷耦合器件和计算机；所述激光衍射组件透过待测物镜后生成带有波前畸变的会聚光束，经过二维位相光栅发生衍射后透过一次多孔光阑板组件，由电荷耦合器件收集光阑板组件后产生的瞬时剪切图像信息数据进行处理。通过更换二次光阑板组件进行再次测量，两次测量结果相减去除系统误差，即可获得待测波前真实测量结果。本发明无需通过传统相移方法采集多幅干涉图像进行处理，一次测量即可瞬时获得高精度的待测波前测量结果，通过更换光阑板两次测量去除系统误差，实现了待测波前的绝对检测，有效提高了系统测量精度。

主权项：1.一种点衍射瞬时剪切干涉的波前绝对检测装置，其特征在于，包括激光衍射组件、待测物镜（4）、二维位相光栅（5）、可变光阑板组件（6）、电荷耦合器件（7）和计算机（8）；所述激光衍射组件用于生成球面波光束，其透过待测物镜后生成带有波前畸变的会聚光束经过二维位相光栅发生衍射后透过可变光阑板组件，所述电荷耦合器件（7）用于收集经光阑板组件后产生的剪切图像信息数据，所述的计算机（8）用来处理由电荷耦合器接收到的剪切图像经特定算法处理获得待测物镜波前信息；所述激光衍射组件包括激光器（1）、显微物镜（2）和小孔衍射板（3）；所述激光器（1）发出的光束经显微物镜（2）聚焦至衍射小圆孔上，所述小孔衍射板（3）上刻有微米级的小孔，会聚光束经过小孔衍射板后产生球面波；所述可变光阑板组件（6）包括一次多孔光阑板和二次可旋转光阑板，所述一次多孔光阑板和二次可旋转光阑板用于切换限制二维位相光栅发出的衍射光；所述一次多孔光阑板包括第一光阑板本体、第一透光孔、第二透光孔、第三透光孔和第四透光孔，所述第一光阑板本体为正方形结构，所述第一透光孔、第二透光孔、第三透光孔和第四透光孔正列设置于第一光阑板本体的2*2透光孔大小分布的四个角；所述二次可旋转光阑板包括第二光阑板本体、窗孔和小孔，所述第二光阑板本体为圆形结构，所述小孔设置于第二光阑板本体的中心上，所述窗孔设置于第二光阑板本体的边缘上，第二光阑板可旋转调节小孔位置。

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百度查询： 西安工业大学 一种点衍射瞬时剪切干涉的波前绝对检测装置和方法